什么半導(dǎo)體車間都會(huì)安裝廢氣處理設(shè)備
為什么半導(dǎo)體車間都會(huì)安裝 廢氣處理設(shè)備 ，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造 過(guò)程 中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機(jī)廢氣等，在 排放 到大氣之前通過(guò) VOCs廢氣處理設(shè)備 去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導(dǎo)體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設(shè)備。因此我們提出安全可靠的廢氣處理裝置以及RTO蓄熱式焚燒設(shè)備， 能夠 對(duì)這些氣體進(jìn)行 有效處理 。
半導(dǎo)體車間廢氣處理設(shè)備選擇標(biāo)準(zhǔn)：
(1)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設(shè)備的處理能力，綜合考慮農(nóng)藥的壽命、前后與設(shè)備的關(guān)系等多種情況，挑選合適的處理方法和設(shè)備。
(2)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備在混合時(shí)將會(huì)爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應(yīng)該是一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)。
(3)可能有自燃性氣體或可燃?xì)怏w流動(dòng)的排風(fēng)管道采用不燃材料。
(4)不可以讓半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動(dòng)，或準(zhǔn)許大量廢氣流動(dòng)超出廢氣處理設(shè)備的處理水平。
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